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詳細(xì)摘要： LPCVD低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備式在低壓條件下使氣態(tài)化合物在基片表面反應(yīng)并淀積形成穩(wěn)定固體薄膜。由于工作壓力低粤策，氣體分子的平均自由程和擴(kuò)散系數(shù)大，故可采用密集裝片...